ULVAC愛發(fā)科多級羅茨大流量干式真空泵

Name: ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨大流量干式真空泵LR60
Brand: ULVAC/日本愛發(fā)科
Price: 7458 CNY
Availability: InStock

ULVAC愛發(fā)科多級羅茨大流量干式真空泵 LR60
池田屋實業(yè)優(yōu)勢供應，并提供報價圖片

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產品詳情

ULVAC愛發(fā)科多級羅茨大流量干式真空泵 LR60

通過低溫區(qū)域的泵體均熱化，在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。

特點

成膜裝置（濺射裝置/蒸鍍裝置等）
縮短備料下料室的排氣時間
作為輔助排氣泵（渦輪分子泵、機械增壓泵的輔助排氣）
池田屋實業(yè)(深圳)有限公司成立于2015年，位于廣東省深圳市，是一家從事中日貿易的企業(yè)。
公司經過多年的發(fā)展，已整合多方海外廠商渠道，有穩(wěn)定的合作關系，為企業(yè)提供售賣、維修、售后等一系列節(jié)能降本的服務。池田屋主要經營日本科學儀器設備、實驗室儀器、各類檢測儀器、測量儀器、食品設備、光學設備、精密傳感器等各類工業(yè)流通產品。
公司擁有專業(yè)的銷售團隊、技術團隊、*的管理團隊，通過全體員工的不懈努力，憑借在工業(yè)品領域的專業(yè)水平和成熟技術，服務于電子消費類、半導體，液晶光電，汽車業(yè)、造船業(yè)、地鐵、等專業(yè)用戶里的世界500強企業(yè)。

規(guī)格

型號		LR60	LR90	LR180	LR421	LR421-T
最大排氣速度	50Hz	62 m3/h (1030 L/min)	112 m3/h (1860 L/min)	183 m3/h (3100 L/min)	440 m3/h (7333 L/min)	440 m3/h (7333 L/min)
	60Hz	80 m3/h (1333 L/min)	126 m3/h (2100 L/min)	237 m3/h (3950 L/min)
到達壓力		5.0 Pa
最大排氣壓力（吸入圧力）		大氣壓
最大排氣口壓力（排出圧力）		1~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規(guī)格)		VG50(KF50)	VG80(KF50)		VG100
排氣口		KF40			VG50
質量		180 kg	245 kg	335 kg	415 kg
電源 *1	三相	200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)			180~240 VAC/ 380~440 VAC(50/60 Hz)
電流值	穩(wěn)定時	6.9 A (at 200V)	11.2 A (at 200V)	18.9 A (at 200V)	20.8 A (at 200V)
	最大值	7.3 A (at 200V)	11.8 A (at 200V)	20.6 A (at 200V)	48.5 A (at 200V)
冷卻水一次壓力		0.1~0.3 MPa			0.2~0.5 MPa
冷卻水出入口壓差		>0.1 MPa			>0.2 MPa
冷卻水流量		>5.0 L/min			>4.0 L/min
吹掃氣	一次壓力	0.1~0.5 MPa
	二次壓力	0.05~0.1 MPa
氮氣吹掃	軸	5 SLM
	氣鎮(zhèn)	0~45 SLM			沒有	0~45 SLM

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