TORAY東麗 半導(dǎo)體行業(yè)專用 多點氧氣濃度計 MS-510
TORAY東麗 半導(dǎo)體行業(yè)專用 多點氧氣濃度計 MS-510
多點氧濃度計MS-500/MS-510/SD傳感器系列是利用我們在半導(dǎo)體和電子行業(yè)積累的氧濃度計制造技術(shù)開發(fā)的，
可用于包括真空設(shè)備在內(nèi)的各種設(shè)備。
配備了我們的緊湊型氧化鋯傳感器，可以長時間進行穩(wěn)定和高精度的測量，并且還配備了氧傳感器保護機制，實現(xiàn)了超越傳統(tǒng)產(chǎn)品的耐用性。
另外，通過將氧氣傳感器和轉(zhuǎn)換器分離，最多可添加8個檢測器，可以同時測量。
操作簡單，是集成到各種處理設(shè)備中的最佳氧氣濃度計。
產(chǎn)品特點
主要裝置特點
?最多同時測量8點
使用一臺控制器最多可同時測量 8 點。
（可選添加轉(zhuǎn)換器/SD傳感器組）
?實現(xiàn)低成本、節(jié)省空間
非常適合安裝和集成到批量生產(chǎn)的機器中。
?可選支持
通過將傳輸輸出更改為 LAN 規(guī)格，可以從 LAN 連接器進行輸出。
傳感器特點
?對應(yīng)真空氣氛
這是一種無需采樣的直插式傳感器，即使在真空氣氛中也可以進行測量。
?超快響應(yīng)
使用單獨的傳感器實現(xiàn)最短的響應(yīng)。
?高耐久性傳感器
傳感器采用特殊涂層，以實現(xiàn)高耐用性。
?標(biāo)準(zhǔn)等
CE 標(biāo)志...EN61010-1、EN61326-1
RoHS 指令...EN63000
總體規(guī)格
| 模型 | 控制器：MS-500
轉(zhuǎn)換器：MS-510
傳感器：SD16NW/SD25NW/SD40NW |
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| 測量點數(shù) | 最多8點（每個測量點需要一套檢測單元） |
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| 測量方法 | 氧化鋯氧濃差電池類型 |
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| 測量范圍 | 0.001ppm～100% |
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| 安裝條件 | 安裝地點：室內(nèi)、非防爆區(qū)域
環(huán)境溫度：控制器/轉(zhuǎn)換器：0 至 40°C
傳感器單元：0 至 50°C
環(huán)境濕度：35 至 80%RH（無結(jié)露）
安裝溫度：控制器/轉(zhuǎn)換器傳感器單位：0 至 40℃
傳感器單位：0 至 100℃
不含易燃成分、鹵素、二氧化硅或腐蝕性成分 |
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控制器規(guī)格
| 尺寸 | 92寬×44高×120深（毫米） |
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| 質(zhì)量 | 約0.6公斤 |
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| 安裝方法 | 使用 M3 螺釘進行面板安裝 |
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| 電源 | 電源：DC24V，0.3A |
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| 濃度顯示 | 自動量程 數(shù)字4位顯示（濃度顯示）
自動量程切換顯示
0-1/10/100/1000ppm/1/10/100% |
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| 通訊輸出規(guī)格 | 通信方式：單向、RS-232C 兼容、D-sub 9 針（針接觸）
傳輸速度：9,600/19,200/38,400 bps
LAN 連接：選項 |
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| 選項 | LAN輸出（傳輸輸出） |
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檢測器（轉(zhuǎn)換器、傳感器）規(guī)格
| 尺寸 | 轉(zhuǎn)換器：100（寬）x 40（高）x 88（深）（單位：mm，不包括突出部分）
傳感器：總長度 100（單位：mm） |
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| 質(zhì)量 | 轉(zhuǎn)換器：約 0.5kg
傳感器：約 0.3kg |
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| 安裝方法 | 傳感器：用 M3 螺釘固定在平面上
傳感器：ISO 真空法蘭連接 |
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| 聯(lián)系 | 轉(zhuǎn)換器與傳感器之間的連接為專用線，
標(biāo)準(zhǔn)長度為2m，最大長度為10m。 |
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| 預(yù)熱時間 | 6分鐘內(nèi) |
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| 電源 | 電源：DC24V、2A
功耗：60VA（標(biāo)準(zhǔn)：15VA） |
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| 重復(fù)性 | 0 至 1% 量程或更高：±0.5% FS 或
更低 0 至 1% 量程或更低：±1.0% FS 或 ±0.1ppm，以較大者為準(zhǔn)
* 不保證低于 0 至 1ppm 量程 |
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空氣點
穩(wěn)定性 | ±1.0%FS以下/24小時 |
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| 樣品條件 | 請勿在還原性氣氛中使用。
另外，如果被測氣體的比熱較高，例如He濃度較高，則可能無法使用。
溫度：0～100℃
壓力：10 -3 Pa～200kPa（絕對壓力）
濕度：露點低于環(huán)境溫度
流量：0.5～5L/min或0L/min（自然擴散下測量） |
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2025-11-10
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