ULVAC愛發(fā)科熱陰極電離真空計

ULVAC愛發(fā)科熱陰極電離真空計
這是 “G-TRAN系列復(fù)合電離真空計“的新型號，可以實現(xiàn)不同的測量范圍。
作為三極管電離真空計，該產(chǎn)品不易發(fā)生靈敏度下降，即使在真空計的惡劣環(huán)境下，也能實現(xiàn)更長時間、更精確的真空測量。
在保留以往高壽命、低運行成本理念的基礎(chǔ)上，進行了改進，更加人性化。

更新時間：2024-05-30
產(chǎn)品型號：ST200-A
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
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聯(lián)系電話：0755-22220219

產(chǎn)品詳情

ULVAC愛發(fā)科熱陰極電離真空計

特點

操作性的提高：通過與PC/智能手機的連接，可以進行設(shè)定點設(shè)置、狀態(tài)確認等。

燈絲壽命通知功能：通過監(jiān)測燈絲功率，可提前通知燈絲壽命。

可連接到不同的測量范圍：復(fù)合電離真空計可以根據(jù)工藝選擇測定子。

小型化：與之前的產(chǎn)品相比，實現(xiàn)了尺寸的大幅縮小（控制器體積縮小56%），成為同級別最小的產(chǎn)品之一。

更豐富的陣容：除了模擬輸出規(guī)格（ST200-A）和串行通信規(guī)格（ST200-R）之外，還將增加EtherCAT規(guī)格（ST200-E）。

三極管金屬電離真空計：即使在惡劣的環(huán)境中，真空計的使用壽命也很長。

壓力測量范圍廣：從大氣壓到高真空范圍（1×10+5～1×10-5Pa）（選配SWU10-R的情況下）。

可以精確的測量大氣壓：可以檢查腔體的開啟情況（當連接了可選的單元SAU時）。

用途

用于有機EL?觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力確認

用于在含有多種碳氫化合物（油類）的環(huán)境中進行測量

用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進行測量

用于需要降低測定子更換頻率的真空設(shè)備

規(guī)格

型號	ST200-A	ST200-R	ST200-E
規(guī)格	標準規(guī)格	串口通信規(guī)格	EtherCAT規(guī)格
適應(yīng)多離子傳感器	SWT-16(NW16), SWT-25(NW25)
可以連接的傳感器	多離子傳感器：1本皮拉尼真空計SWU10-R：1本（可選）大其他傳感器SAU：1本（可選）
測量精度（N₂）	ST200本體模式：±2％
取樣時間	60ms 5回移動平均処理
測定値出力	出力電壓 DC 0～10V　LOG出力 0.75V/1桁圧力換算公式　V=7.25+0.75×(LogP-2)　P=10^
更新時間	60msec
控制輸入信號	FIL ON/OFF, DEGAS ON/OFF 打開集電極動作、負邏輯	-	-
制御出力信號	傳感器錯誤，設(shè)定點1/2/3, 有效排放,燈絲電力監(jiān)控定格：24V_MAX、50mA_MAX、飽和電圧1V	-	-
串行通信規(guī)格	-	RS232C/RS-485	EtherCAT
LED顯示	POWER/ERROR：電源、LED ERROR (閃爍狀態(tài)根據(jù)各種模式變化)
發(fā)射電流	2mA (1×10^-2Pa以下), 10μA (1×10^-2Pa以上)
DEGAS	電子轟擊脫離方法（電子轟擊）1mA、330V
測量部耐圧性	2×10⁺⁵Pa （絕對壓力） * 需要單獨考慮法蘭和夾具等的耐壓性
傳感器內(nèi)部容量	17cm³(SWT-16), 19cm³(SWT-25)
使用溫度范圍	10～50℃
使用濕度范圍	15～80%(不結(jié)露)
保管溫度	-20～65℃(非通電時、不結(jié)露)
IP保護等級	IP30
電源電壓	DC20～28V (波紋，噪音1%以下)　 8W以下
輸入/輸出連接器	D-sub15銷（M2.6螺絲）
重量	調(diào)節(jié)器：約280g　測定子(M-44, M-45)：80g, (M-46): 300g
外形尺寸 W×D×H	69mm×63mm×90mm (控制器部分)
適合規(guī)格	CE