概述

FUJIKIN PUN-913P-6.35 是一款用于精確控制微小氣體流量的隔膜式微調(diào)閥。其核心特點(diǎn)是具有jg的流量調(diào)節(jié)精度和重復(fù)性，專(zhuān)為對(duì)流量控制要求極其嚴(yán)苛的應(yīng)用場(chǎng)景而設(shè)計(jì)。

主要特點(diǎn)與設(shè)計(jì)用途

1. 超高精度流量調(diào)節(jié)：

• 采用精密的閥桿和隔膜設(shè)計(jì)，可以實(shí)現(xiàn)非常微小且平滑的流量調(diào)整。

• 具有j佳的重復(fù)性，意味著在關(guān)閉后再次調(diào)整到同一位置時(shí)，流量值能夠高度一致。

• 隔膜式密封：

• 零泄漏：提供j高的密封性，防止工藝氣體外泄或外部污染物進(jìn)入，對(duì)于安全性和純度至關(guān)重要。

• 無(wú)顆粒產(chǎn)生：閥桿不與流體接觸，避免了因摩擦產(chǎn)生的顆粒污染。

• 長(zhǎng)壽命：減少了閥芯密封件的磨損。

• 這是g端調(diào)閥的常見(jiàn)設(shè)計(jì)。通過(guò)金屬隔膜將閥桿的驅(qū)動(dòng)部分與流路部分w全隔離。

• 優(yōu)點(diǎn)：

• 適用于嚴(yán)苛介質(zhì)：

• 專(zhuān)門(mén)用于控制高純度氣體、腐蝕性氣體、有毒氣體或反應(yīng)性氣體。

• 閥體、隔膜和密封材料通常采用 SUS316L、哈氏合金C-22等高性能材料，以確保z越的抗腐蝕性。

• VCR® 接口：

• "PUN-913P-6.35" 中的 "6.35" 通常指接口尺寸為 1/4 英寸。

• 該型號(hào)極有可能標(biāo)配或可選 VCR® 型接口。這是一種金屬墊圈面密封接頭，廣泛應(yīng)用于超高純度、真空和危險(xiǎn)氣體輸送系統(tǒng)，具有極g的氣密性。

• 精細(xì)的螺紋設(shè)計(jì)：

• 閥桿采用細(xì)牙螺紋，使得閥桿每旋轉(zhuǎn)一圈的行程非常小，從而實(shí)現(xiàn)了對(duì)流量的“微調(diào)"。

典型應(yīng)用場(chǎng)景

由于其高精度和高密封性，PUN-913P系列主要用于以下g端制造和研發(fā)領(lǐng)域：

• 半導(dǎo)體制造： 在化學(xué)氣相沉積（CVD）、原子層沉積（ALD）、蝕刻等工藝中，精確控制反應(yīng)氣體的流量。

• 光伏行業(yè)： 太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)中的薄膜沉積工藝。

• 科研實(shí)驗(yàn)裝置： 需要精確配比和輸送特種氣體的實(shí)驗(yàn)室反應(yīng)系統(tǒng)。

• 特種氣體工程： 用于輸送、分配高純度或危險(xiǎn)氣體的面板和系統(tǒng)。

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